特種氣體有哪些?特種氣體用途及應(yīng)用行業(yè)(下)
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2024/06/13
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51、三氟化硼-BF3,>99.99%,用于離子注入;另外,可作載氣、某些有機(jī)反應(yīng)的催化劑;精煉鎂、鋅、鋁、銅合金時(shí)從熔化金屬中除掉氮、氧、碳化物。
52、三氟化磷-PF3,>99%,用于外延、離子注入工序;另外用作氟化劑。
53、三氟化砷-AsF3,>99.9%,用途同(52)。
54、二氟化氨-XeF2,>99.9%,用于外延、離子注入工序;用于固定模具氨的考察及原子反應(yīng)堆排放廢氣中氮的測(cè)定。
55、三氟氯甲烷-CClF3,(R-13),>99.995%,用于等離子干刻工序;冷凍劑、空調(diào)均可用。56.三氟甲烷-CHF3,(R-23),>99.999%,用于等離子干刻工序;低溫冷凍劑。
56、三氟化氮-NF3>99.99%,用于等離子干刻工序;火箭推進(jìn)劑、氟化劑。
57、三氟嗅甲烷-CBrF3,(R13B1),>99.99%,用于等離子干刻工序;還用于空調(diào)、低溫冷凍及滅火劑。
58、三氟化硼-11-B11F3,>99.99%,用于離子注入工序(天然硼的同位素,含11B8l%,10B19%。出售的11B是濃縮含有96%同位素BF3);還用于制備光導(dǎo)纖維。
59、三氟化硼-11-B11F3,>99.99%,用于離子注入工序(天然硼的同位素,含11B8l%,10B19%。出售的11B是濃縮含有96%同位素BF3);還用于制備光導(dǎo)纖維。
60、四氟化碳-CF4,(R-14),>99.99%,用于等離子干刻工序;在很低溫度下作為低溫流體用;也用于中性及惰性氣體。
61、四氟化硫-SF4,>98%,用于等離子干刻工序;氟化劑、表面處理劑。
62、四氟化硅-SiF4,>99.99%,用于化學(xué)氣相淀積工序;制備氟硅酸及其鹽類。
63、四氟化鍺-GeF4,>99.999%,用于離子注入工序。
64、五氟化磷-PF5,>99.9%,用于離子注入、等離子干刻工序;另外,用作氟化劑,聚合、烴化及脫烴化反應(yīng)、烴類裂化反應(yīng)時(shí)作催化劑。
65、五氟氯乙烷-C2ClF6,(R-115),>99.99%,用于等離子干刻工序;另外,作冷凍劑、煙霧噴氣劑。
66、五氟化砷-AsF5,>99%,用于外延、離子注入工序,氟化劑。
67、六氟乙烷-C2F6,(R-116),>99.99%,用于等離子干刻工序;用作冷卻、冷凍劑和空調(diào);單體生產(chǎn)的原料;化學(xué)反應(yīng)中的添氟劑、電器設(shè)備的絕緣劑。
68、六氟化硫-SF6,>99.99%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣;用于化學(xué)氣相淀積工序;由于在高電壓下具有很高的電阻,用作電器設(shè)備的絕緣劑;檢漏氣體,實(shí)驗(yàn)室中作色譜儀的載氣。
69、六氟化鎢-WF6,>99.99%,用于化學(xué)氣相淀積工序;強(qiáng)烈的氟化劑;也用作鎢載體。
70、六氟化氧-(CF3)2O2,>99.99%,用于等離子干刻工序。
71、六氟乙酰-(CF3)2CO,>99.99%,用途同(70)。
72、六氟乙酞氧-(CF3CO)2O,>99.99%,用途同(70)。
73、六氟化錸-ReF6,>97%,用于離子注入工序;氟化劑。
74、八氟丙烷-C3F8,(R-218),>99.9%,用于等離子干刻工序;與氟利昂相混合作冷凍劑;高壓電的絕緣劑。
75、八氟環(huán)丁烷-C4F8,(RC318),>99.99%,用于等離子干刻工序;用作冷卻劑、冷凍劑;作電器和電子設(shè)備的氣體絕緣。
76、十二氟戊烷-C5F12,>99.9%,用于等離子干刻工序;也可與CF4相混用。
77、三甲基鋁-(CH3)3Al,>99.999%,用于化學(xué)氣相淀積工序;金屬的有機(jī)合成。
78、三甲基鎵-(CH3)3Ga>99.999%,用途同(77)。
79、三甲基銻-(CH3)3Sb,>99.999%,用途同(77)。
80、三甲基錮-(CH3)3In,>99.999%,用途同(77)。
81、三乙基鋁-(C2H5)3Al,>99.999%,用途同(77)。
82、三乙基鎵-(C2H5)3Ga,>99.999%,用途同(77)。
83、四乙基鉛-(C2H5)4Pb,>99.999%,用于化學(xué)氣相淀積工序。
84、丙烯腈-C3H3N,>99.9%,用于等離子干刻工序。
85、1,1,2-三氯乙烯-C2HCl3,>99.99%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、醫(yī)療氣;用于半導(dǎo)體器件制備工藝中熱氧化工序;另外,用于金屬的脫脂劑和脂肪、油、石蠟等萃取劑,衣服干洗,冷凍劑,殺菌劑。
86、甲烷-CH4,99.999%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、在線儀表標(biāo)準(zhǔn)氣;作燃料、宇宙飛船中氣體電池。
87、甲烷硫醇-CH3SH,>99.5%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣;用于有機(jī)合成;作為噴氣燃料添加劑,殺真菌劑和蛋氨酸的中間體。
88、一甲胺-CH3NH2,>99%,用于硫化促進(jìn)劑、藥物、染料和炸藥等,并作溶劑、有機(jī)合成、醋酸人造纖維。
89、甲醇-CH3OH,>99.9%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣,與空氣混合后作校正氣;用于制備甲醛和農(nóng)藥鄉(xiāng)用于有機(jī)物質(zhì)的萃取劑和酒精的變性劑。
90、二甲胺-(CH3)2NH,>99%,用作抗氧化劑;在溶液中作浮洗.劑、汽油穩(wěn)定劑、橡膠加速劑等。
91、二甲醚-(CH3)2O,>99.9%,在化學(xué)工業(yè)中用作配制合成橡膠和甲硫醚;用作甲基劑、萃取劑、溶劑;也用作制冷劑。
92、乙炔-C2H2,>99.9%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣;化學(xué)工業(yè)中的中間體,如制備乙烯、乙醛、醋酸乙烯、氯乙烯、乙烯醚等;用于原子吸收光譜。
93、乙烯-C2H4,>99.99%,用作在線儀表標(biāo)準(zhǔn)氣、標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣;是化學(xué)工業(yè)合成中的重要原料,生產(chǎn)塑料的中間體,生產(chǎn)乙醇、醋酸、氧化乙烯、氯乙烯、乙苯等的原料;也用于焊接和切割、冷凍劑、某些水果、蔬菜生長(zhǎng)的加速劑。
94、氧化乙烯-C2H4O,99.9%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、醫(yī)療氣;與CO2、R11、R21相混合作消毒劑,文物保管,皮革消毒,清洗衣料均可采用;化學(xué)工業(yè)中用作中間體,生產(chǎn)液體或固體聚乙二醇、乙醇胺類等。
95、溴代乙烯-C2H3Br,>99.9%,用作有機(jī)合成的中間體,用聚合法與共聚法來(lái)制備塑料。
96、一乙胺-CH3CH2NH2,>99%,水溶液中含有70%乙胺,作為下列化學(xué)工業(yè)制備中的中間體:著色劑,電鍍池、硫化增速劑等;還用于制藥、表面活性劑、萃取劑。
97、四氟乙烯-C2F4,>99%,在生產(chǎn)塑料時(shí)作為一種重要的單體,如泰氟隆等。
98、乙醛-CH5CHO,>99.9%,用作校正氣;用于制備酷酸、醋醉、醋酸乙酷、正丁醇、合成樹(shù)脂等。
99、二甲基二硫醚-CH3S2CH3,>99.9%,用作校正氣、溶劑。
100、二甲基硫醚-CH3SCH3>99.9%,用作校正氣、溶劑。
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